光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计

• 作者: 孙振 巩岩
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 成像系统 光刻投影物镜 轴向调节机构 V形柔性单元 热变形
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 成像系统
• 页码范围: 93-99
• 页数: 7页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP50.101101

摘要

为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求,基于三角形换向原理,设计了轴向调节机构.在调节机构中采用V形柔性单元换向机构,实现运动的换向和传递.针对机构的调节行程、驱动力、一阶固有频率以及机构传动比的要求,优化了V形柔性单元的结构尺寸参数.使用有限元方法分析了V形柔性单元的关键尺寸参数对机构性能的影响,得到机构调节行程可达±55 μm,调节精度优于±10 nm,一阶固有频率大于150 Hz.同时仿真分析了该轴向调节机构对光学元件的热变形的影响,在20 mW热载荷的作用下,该轴向调节机构导致光学元件面形变化为0.087 nm[峰谷(PV)值]和0.013 nm[均方根(RMS)值].仿真结果证明该轴向调节机构对光学元件面形精度影响极小,满足光刻物镜应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	72	423	13.0	17.0
2	孙振	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	21	3.0	4.0