调幅 W（Mo）/Cu 纳米多层膜 He+离子辐照响应行为*

• 作者: 任丁 刘波 杨斌 林黎蔚 植超虎
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: W(Mo)/Cu 纳米多层膜 He+ 辐照 He 团簇/泡 相转变
• 年，卷（期）: 2013,（15）
• 页码范围: 156801-1-156801-6
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.156801

摘要

用磁控溅射技术制备不同调幅波长(L)的 W(Mo)/Cu 纳米多层膜,所制膜系在60 keV 氦离子(He+)辐照条件下注入不同剂量：0,1×1017 He+/cm2,5×1017 He+/cm2.用 X 射线衍射仪(XRD)和高分辨透射电子显微镜(TEM)表征 W(Mo)/Cu 纳米多层膜辐照前后微观结构.研究结果表明：1) He+离子轰击引起温升效应是导致沉积态亚稳相β-W 转变成稳态α-W 相的主因,而与调幅波长无明确关联；2)纳米多层结构中 W(Mo)和 Cu 膜显现出的辐照耐受性与调幅波长相关,调幅波长越小,抗 He+的辐照性能越强；3)在5×1017 He+/cm2注入条件下,观察到 He 团簇/泡在纳米结构 W(Mo)和 Cu 膜中的积聚行为存在明显差异：在 W (Mo)膜中 He 团簇/泡的分布与晶粒取向相关, He 团簇/泡倾向于沿 W (211)晶面分布；而 Cu 膜非晶化且 He 团簇/泡在其体内呈均匀分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘波	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	71	531	12.0	21.0
2	杨斌	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	70	361	10.0	15.0
3	任丁	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	4	6	1.0	2.0
4	林黎蔚	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	5	6	1.0	2.0
5	植超虎	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	1	6	1.0	1.0