溶胶凝胶制备氧化钒薄膜的生长机理及光电特性

• 作者: 何琼 孙自强 敖天宏 樊泰君 温粤江 蒋亚东 许向东 马春前 黄龙
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 氧化钒薄膜 溶胶凝胶 光电特性 生长机理
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 329-335
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.056802

摘要

采用溶胶凝胶法,在不同的退火温度下制备了不同的氧化钒薄膜.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪等,对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性进行了分析.结果表明,溶胶凝胶法获取V2O5薄膜的最佳退火温度为430?C,低于此温度不利于使有机溶剂充分分解,高于此温度则V—O键发生裂解、形成更多的低价态氧化钒.本文制备的氧化钒薄膜具有较高的电阻温度系数和光吸收率,适合应用在非制冷红外探测器中.本文揭示了溶胶凝胶法制备氧化钒薄膜的生长机理.