Si薄膜在预结构基底上生长的动力学蒙特卡罗模拟

• 作者: 卜寿亮 陈书汉
• 来源期刊: 暨南大学学报（自然科学与医学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: Si雕塑薄膜 动力学蒙特卡罗方法 波浪形预结构
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 201-204
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2458字
• 语种: 中文

摘要

通过引入周期性排列波浪形预结构基底，建立了Si薄膜生长的三维动力学Monte Carlo模型。利用该模型在此基底上分别正常沉积和倾斜沉积Si薄膜，研究薄膜在不同沉积条件下的生长过程及其内在的生长规律。通过计算机模拟，论证了在正常沉积条件下薄膜呈均匀生长模式，而在大角度倾斜沉积条件下，薄膜生长呈各向异性非均匀生长模式。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卜寿亮	嘉应学院物理与光信息科技学院	12	6	2.0	2.0
2	陈书汉	嘉应学院物理与光信息科技学院	16	51	4.0	6.0