半导体生产厂房化学液集中供应系统设计

• 作者: 孙敏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 化学液供应 半导体生产 系统设计 安全技术措施
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 半导体制造技术与设备
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 4462字
• 语种: 中文

摘要

根据半导体厂房的工作环境、化学液类型与用途和系统供应目的等,提出了常用化学液集中供应的基本要求,从而得出半导体厂房化学液集中供应的系统设计,系统设计包括系统类型、基本构成、控制流程以及安全技术措施等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙敏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	17	34	4.0	4.0