离子镀膜法制备铀薄膜的表征

• 作者: 于震 孙亮 张志忠 张晓卫 张生栋
• 来源期刊: 核化学与放射化学
• 学科: 工学
• 关键词: 铀膜 离子镀膜 形貌 结构 价态 组成
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 277-281
• 页数: 5页
• 分类号: TL271.91
• 字数: 3114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/hhx.2014.36.05.0277

摘要

研究了离子镀膜法制备铀薄膜的性质,可为改善薄膜性能、完善过程模型、优化制备参数和提高制备效率提供依据。本工作通过扫描电子显微镜和 X射线衍射分别测量了离子镀膜法制备铀薄膜的表面形貌和物相结构,通过俄歇电子能谱和 X射线光电子能谱结合 Ar+溅射深度剖析,对离子镀膜法制备铀薄膜的元素成分、化学形态及纵深方向的分布进行了分析。分析结果表明：制备的铀薄膜在基体上分布连续,主要物相为CaF2类型面心结构 UO2,主要形态为 UO2、金属 U和 FeUO4化合物。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张生栋	中国原子能科学研究院放射化学研究所	72	145	5.0	9.0
2	张志忠		13	14	2.0	3.0
3	张晓卫		13	11	2.0	2.0
4	于震		3	1	1.0	1.0
5	孙亮		3	1	1.0	1.0