基于改进型多目标粒子群算法的晶圆制造系统瓶颈工作站调度

• 作者: 周炳海 孙超 胡新宇
• 来源期刊: 江苏大学学报（自然科学版）
• 学科: 社会科学
• 关键词: 半导体晶圆制造系统 瓶颈 工作站 调度 改进型多目标粒子群算法
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: C934
• 字数: 5598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2014.01.012

摘要

为了尽可能提高瓶颈工作站利用率,在获得较高系统产能的同时得到一个合理的制造周期,构建了以最小化瓶颈工作站的平均加权提前/拖期时间和最小化瓶颈工作站流程时间为优化目标的改进型多目标粒子群算法,并对瓶颈工作站进行了性能分析.将准时交货和快速生产要求分别映射为瓶颈工作站平均加权提前/拖期时间和流程时间,并构建了多目标优化模型.通过改进速度和位置的更新机制,对陷入局部最优的粒子进行交叉操作,设计了用于瓶颈工作站调度的改进型多目标粒子群算法.在不同作业规模下从算法的稳定性、Pareto前沿质量、收敛速度及运行时间出发,进行了调度仿真试验.结果表明该算法对提高瓶颈工作站的调度性能是有效的、可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳海	同济大学机械与能源工程学院	166	679	12.0	15.0
2	孙超	同济大学机械与能源工程学院	16	142	7.0	11.0
3	胡新宇	同济大学机械与能源工程学院	1	10	1.0	1.0