基于波长移相调谐的多表面干涉研究

• 作者: 张国伟 李勇 李升辉 熊涛 马力
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 波长移相 平行平晶 干涉 频率
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 46-50
• 分类号: TN606
• 语种: 中文

摘要

为了解决不同厚度下平行平晶的多表面干涉效应对光学元件面形检测的影响,提出了基于波长移相调谐原理的多表面干涉面形检测方法.根据波长移相调谐原理,推算出不同厚度下被测元件与测试腔长的比例关系,通过对多表面干涉图进行离散傅里叶变换,进而提取出平行平晶前后表面面形的相位信息.实验结果表明:与ZYGO公司GPI干涉仪测量结果对比,厚度分别为10 mm和40 mm的两块平行平晶,测试结果偏差很小,验证了算法的有效性.