激光干涉微纳双重结构调制周期的提取

• 作者: 胡贞 连凡凡
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳双重结构 激光干涉光刻 图像采集 调制周期
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 65-67,71
• 页数: 4页
• 分类号: TN911.4
• 字数: 1601字
• 语种: 中文

摘要

为了制备质量更高的微纳双重结构，采用激光干涉光刻技术，分别搭建三光束、四光束和六光束光路进行光干涉，对干涉结果进行图像采集的实验。采用图像处理的方法对采集的图像进行处理，提取了微纳双重结构的调制周期，并与理论周期值进行比较，验证方法的可行性，为后续提取微纳双重结构的其它特征参数奠定了基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡贞	长春理工大学电子信息工程学院	24	74	4.0	8.0
2	连凡凡	长春理工大学电子信息工程学院	1	0	0.0	0.0