滚动压印装置研制与压印填充模拟

• 作者: 叶回春 李木军 沈连婠
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 滚动压印 紫外压印 气泡缺陷 流体仿真
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 281-285
• 分类号: TK426|TH145.4+2|TQ022
• 语种: 中文
• DOI: 10.13494/j.npe.20140014

摘要

紫外滚动压印因其可以在室温下、普通大气环境中高效大面积地进行微结构制作而备受瞩目.利用自行研制的紫外滚动压印装置,实现了微结构的快速复制.实验中发现当压印速度达到某一特定值时,会不可避免地产生气泡缺陷.采用流体软件Fluent对滚动压印充填过程进行分析.来研究气泡缺陷的产生机理.结果表明,压印速度过高导致空气被堵在图形空腔内,最终形成气泡缺陷.同时,低黏度的胶液和小的接触角更利于模型填充.此研究对于获得优化的滚动压印工艺具有一定的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈连婠	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	63	319	7.0	12.0
2	李木军	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	32	137	6.0	9.0
3	叶回春	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	14	78	5.0	8.0