基于拉曼光谱的类金刚石薄膜的热稳定性研究

• 作者: 张兆贵 张在珍
• 来源期刊: 河北工业科技
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 拉曼光谱 热稳定性
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 302-305
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7535/hbgykj.2014yx04007

摘要

利用阴极真空弧放电设备制备了表面光滑的类金刚石薄膜材料,通过多波长激发的拉曼光谱研究了不同退火条件下所制薄膜的热稳定性.实验结果表明,在小于400℃的温度处理下,类金刚石薄膜微观结构几乎不发生变化,薄膜处于稳定区;当温度升高至600℃,微观结构开始发生微妙的变化,认为处于亚稳定区;当温度升至800℃甚至1 000℃时,类金刚石薄膜的微观结构发生显著变化,薄膜开始出现石墨化,物理性质不能保持稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兆贵	潍坊工程职业学院应用化学与生物工程学院	5	20	3.0	4.0
2	张在珍	潍坊工程职业学院应用化学与生物工程学院	9	16	3.0	3.0