24对棒多晶硅还原炉的辐射传热数值模拟

• 作者: 寇小强 李庆生
• 来源期刊: 工业加热
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 还原炉 数值模拟
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TK124
• 字数: 2328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1639.2014.05.016

摘要

在还原炉中制备多晶硅需要密闭且高温的环境，用传统检测方法获得炉内温度场分布比较困难。本文基于FLUENT仿真计算平台，对硅棒生长至50、100、150 mm时的24对棒多晶硅还原炉的辐射传热进行三维数值模拟，得出还原炉内不同硅棒直径时的温度场分布。通过比较模拟的出口尾气温度与多晶硅实际生产中出口尾气的温度，验证模拟结果的可靠性。探讨温度对多晶硅生长的影响，为操作人员在多晶硅生产中控制炉内温度提供理论指导。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆生		52	148	6.0	9.0
2	寇小强		1	6	1.0	1.0