微波法金刚石膜的均匀沉积

• 作者: 汪建华 翁俊 胡晖
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 均匀性 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2014.06.004

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气和甲烷为主要反应气源进行了大面积金刚石膜的沉积,研究了基片温度、微波功率和沉积气压对大面积金刚石膜均匀性的影响.采用红外测温仪测量基片不同区域的温度,利用扫描电子显微镜表征金刚石膜不同区域的表面形貌.结果表明:较高的微波功率有利于提高金刚石膜的沉积面积和沉积质量,但随着微波功率的提高,基片温度的均匀性也逐渐降低.在对装置的基片台和天线结构进行优化改进后,获得了均匀性较好的基片温度.在改进后的装置中产生的等离子球状态稳定,利用合适的工艺参数沉积得到了均匀性较好的大面积金刚石膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁俊	中国科学院等离子体物理研究所	11	142	6.0	11.0