半导体设备视觉清晰化技术研究

• 作者: 孙广翔 杨帆 高岳
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 蓝宝石衬底 视觉清晰化 LED 工艺
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 页码范围: 1-4,37
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2587字
• 语种: 中文

摘要

在蓝宝石衬底的LED 生产工艺中，对半导体设备的显微镜成像清晰程度提出了很高的要求。以国内多家LED 大型生产厂商的工艺为实验蓝本，针对多种清晰化方案进行了比对，进而提出一种基于图像处理的清晰化方案，并具有高度的实时性，可行性，可靠性，鲁棒性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨帆	中国电子科技集团公司第四十五研究所	38	47	4.0	5.0
2	高岳	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	2	1.0	1.0
3	孙广翔	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0