回收砂浆对多晶硅片表面质量的影响

• 作者: 任崇荣 姚旭 张波 贾艳飞 赵彩霞 韩燕旭
• 来源期刊: 新型工业化
• 关键词: 砂浆 硅片 成本
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 79-83
• 页数: 5页
• 字数: 3207字
• 语种: 中文

摘要

在硅片切割过程中，为了降低加工成本，企业大都是利用回收砂浆进行切割硅片。随着切割工艺的成熟，在不影响硅片质量的前提下，降低生产成本已成为企业关注的焦点。本文关注的重点是在实际的工业生产中，不同比例回收砂浆对多晶硅片表面质量的影响；并提出为保证硅片的品质，切片企业使用回收砂浆的比例应维持在80%以下。在此基础上，分析了使用回收砂浆对企业降低生产成本所做的贡献。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩燕旭		8	6	2.0	2.0
2	赵彩霞		4	13	2.0	3.0
3	贾艳飞		4	6	2.0	2.0
4	姚旭		8	6	2.0	2.0
5	张波		16	20	3.0	4.0
6	任崇荣		2	3	1.0	1.0