大面积纳米金刚石薄膜的制备及场发射性能

• 作者: 严辉 周文龙 宋雪梅 张铭
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石薄膜 拉曼图谱 表面粗糙度 场发射性能
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 2844-2848
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2628字
• 语种: 中文

摘要

以CH4和H2为反应气，采用微波等离子体增强化学气相沉积方法在直径为10 cm的硅原片上制备纳米金刚石薄膜。用X射线衍射仪、拉曼光谱、扫描电镜和原子力显微镜对薄膜的组成结构及性能进行表征。结果表明：薄膜的平均晶粒尺寸约为13.8 nm，厚度可达10.8μm，表面粗糙度约为11.8 nm；其拉曼光谱是典型的纳米金刚石薄膜的特征峰峰形，同时在高真空条件下对所制备的薄膜样品进行场发射性能测试。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严辉	北京工业大学材料科学与工程学院	178	1225	16.0	29.0
2	张铭	北京工业大学材料科学与工程学院	44	107	6.0	8.0
3	宋雪梅	北京工业大学材料科学与工程学院	44	498	11.0	21.0
4	周文龙	北京工业大学材料科学与工程学院	2	2	1.0	1.0