双光束复合脉冲激光辐照沉积纳米金刚石薄膜

• 作者: 任乃飞 任旭东 唐少雄 杨慧敏 郑腊梅
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 纳米金刚石薄膜 双光束脉冲激光沉积 衬底温度
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 160-163
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0507001

摘要

利用双光束复合脉冲激光辐照石墨悬浮液沉积技术,制备了高效率、高质量的纳米金刚石薄膜,成功解决了金刚石薄膜沉积不均匀和衬底温度对金刚石薄膜的影响.通过拉曼光谱仪和高分辨率透射电镜对薄膜的微观结构和组成进行了检测分析,实验结果表明,Raman光谱的D峰出现在1334 cm-1处,G峰出现在1571 cm-1处,沉积的薄膜致密均匀,晶粒平均尺寸在5 nm左右.在制备过程中通过复合激光束辅以温度为金刚石薄膜的生长提供了更有利的条件,并在常温常压下连续制备出了粒度分布均匀的纳米金刚石薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任旭东		66	598	15.0	21.0
2	任乃飞		62	368	11.0	17.0
3	杨慧敏		3	0	0.0	0.0
4	郑腊梅		3	12	2.0	3.0
5	唐少雄		2	4	1.0	2.0