粉浆浇注制备大尺寸ITO靶材工艺

• 作者: 孙本双 岳坤 王东新 钟景明
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 粉浆浇注 浆料性能 微观组织
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 2333-2338
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 字数: 3746字
• 语种: 中文

摘要

研究分散剂、pH值和固相含量对铟锡氧化物(ITO)浆料稳定性、流变性的影响，以及粉浆浇注压力对坯体密度的影响。结果表明：当聚丙烯酸(PAA)质量分数为0.5%、聚乙二醇(PEG)质量分数为1.5%、pH值为9、ITO固相含量为70%(质量分数)时，调制的浆料的流变性和稳定性最佳，并在注浆压力为1.5 MPa的条件下制备出相对密度为68%的高密度粉浆浇注坯体；对该素坯进行常压烧结制备了相对密度高于99.5%的ITO靶材。对靶材的组织与成分分析发现，粉浆浇注ITO靶材的结构为氧化锡完全固溶于氧化铟的单一立方In2O3结构，同时In、Sn和O元素分布均匀，无元素富集现象，晶粒尺寸均匀，完全满足八代以上镀膜线的应用技术要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟景明	西北稀有金属材料研究院宁夏特种材料重点实验室	26	162	6.0	11.0
4	孙本双	西北稀有金属材料研究院宁夏特种材料重点实验室	12	112	4.0	10.0
9	岳坤		2	4	1.0	2.0