不同基底上SiO2薄膜红外波段的水吸收特性

• 作者: 崔云 易葵 李豪 范正修
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 SiO2薄膜 水吸收特性 红外漫反射光谱 原子力量微镜分析
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 167-170
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0707001

摘要

研究了SiO2薄膜的微结构与水吸收特性之间的内在联系,分别在Si、A12 O3和JGS3基底应用电子束蒸发沉积SiO2薄膜.实验用原位傅里叶红外漫反射光谱(in-situ DRIFTS)检测薄膜水吸收特性,并结合原子力显微镜(AFM)进行微结构分析.实验发现:常温吸附状态时,薄膜表面的孔隙数目越多,SiO2薄膜水吸收量越大;薄膜表面粗糙度影响薄膜水吸收特性;升温过程薄膜出现退吸附现象以及蓝移效应.