低频频率和O2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O2放电的影响

• 作者: 刘佳 刘永新 姚洪斌 张季 李文亮 蒋相站
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双频容性耦合等离子体 四极杆质谱 离子能量分布 平均能量
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 41-44,58
• 页数: 5页
• 分类号: TN136|O534
• 字数: 3684字
• 语种: 中文

摘要

利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响.研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显.Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低.增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移.同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚洪斌	新疆工程学院新能源材料研究教育厅重点实验室	13	9	1.0	3.0
2	蒋相站	新疆工程学院新能源材料研究教育厅重点实验室	9	1	1.0	1.0
3	张季	新疆工程学院新能源材料研究教育厅重点实验室	10	16	3.0	4.0
4	刘佳	大连理工大学物理与光电工程学院	23	160	8.0	12.0
5	刘永新	大连理工大学物理与光电工程学院	3	8	1.0	2.0
6	李文亮	新疆工程学院新能源材料研究教育厅重点实验室	6	11	2.0	3.0