多晶硅铸锭炉双区加热系统的数值计算

• 作者: 庞江瑞 权龙 韩栋梁 黄家海
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铸锭炉 双区加热 加热器 数值分析
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 装备技术
• 页码范围: 3027-3029
• 页数: 3页
• 分类号: TF634
• 语种: 中文

摘要

对450型多晶硅型铸锭炉加热系统进行优化,提出了双区加热系统的理论,即对顶部加热器和侧面加热器加热功率分别控制;同时对侧面加热器结构进行优化.利用有限元软件ANSYS对加热系统优化后铸锭生长过程进行数值计算,对优化后硅料熔化过程、硅液内部温度分布、硅锭退火过程及硅锭纵向温度分布进行分析,计算结果显示,优化后硅液等温线较平坦、硅锭退火后温度梯度减小,熔化和退火阶段时间明显缩短,可以降低铸锭生产能耗,提高生产效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	权龙		199	2256	25.0	39.0
2	黄家海		39	189	7.0	11.0
3	韩栋梁		6	11	2.0	3.0
4	庞江瑞		7	10	2.0	3.0