多晶硅还原炉倒棒原因分析

• 作者: 刘波
• 来源期刊: 广州化工
• 学科: 工学
• 关键词: 还原炉 倒棒 优化参数
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 生产技术
• 页码范围: 160-161
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2628字
• 语种: 中文

摘要

随着我国光伏产业和电子信息技术产业的快速发展,大量的多晶硅半导体材料被应用在太阳能电池和电子工业上.生产多晶硅的主要设备是大型节能还原炉,但是在生产过程中还原炉的倒棒致使设备损坏,备品备件大量被消耗以及产量质量的降低,能耗上升,生产成本提高.研究还原炉倒棒原因,通过改变进料喷嘴、优化工艺参数等来降低还原炉倒棒率就显得尤为重要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘波		1	2	1.0	1.0