晶圆重入加工的组合设备终止暂态的调度与分析

• 作者: 潘春荣 黎良
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 关键词: 晶圆制造 组合设备 重入加工 Petri网 建模 调度 仿真
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 655-664
• 页数: 10页
• 分类号: TP278|TP391.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.7641/CTA.2015.40780

摘要

晶圆重入是半导体组合设备加工中典型的复杂加工工艺,分析和优化暂态加工过程对于晶圆重入加工具有重要意义.为了满足加工需求和提高组合设备的加工性能,基于稳态重入加工的双臂组合设备Petri网模型和1-晶圆周期调度策略,采用虚拟晶圆的加工模式分析了系统的终止暂态过程,讨论了系统终止暂态的加工时间分布,并给出相应的解析式进行描述.利用eM-Plant仿真平台建立了重入加工的双臂组合设备终止暂态的仿真模型,并用例子验证了1-晶圆周期调度的可行性及解析式的有效性,为研究晶圆重入加工过程的优化提供了有效方法和手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘春荣	江西理工大学机电工程学院	24	99	7.0	9.0
2	黎良	江西理工大学机电工程学院	6	24	3.0	4.0