改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究

• 作者: 侯保荣 武玉民 王宁 王静 郑福卫
• 来源期刊: 石油化工高等学校学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铜基体 类金刚石膜 拉曼光谱 划痕法 耐腐蚀性
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 化工机械
• 页码范围: 91-96
• 页数: 6页
• 分类号: TE9801
• 字数: 2438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-396X.2015.03.019

摘要

类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐腐性强、稳定性高等优点，是提高铜耐腐性的理想材料，但铜与类金刚石膜之间的结合力差。通过制备Tix Cy 过渡层，采用磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积法，通过改变过渡层碳靶功率成功在铜基体上沉积类金刚石膜。并对金刚石膜进行拉曼光谱测试、划痕实验和电化学实验分析。结果表明，所制备碳膜具有典型的类金刚石结构，膜与基体之间的结合强度大，过渡层碳靶溅射功率为200 W时所制备的类金刚石膜对铜基体的保护作用最好。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宁	青岛科技大学化工学院	34	95	5.0	7.0
3	武玉民	青岛科技大学化工学院	78	521	14.0	18.0
4	王静	中国科学院海洋研究所海洋环境腐蚀与生物污损重点实验室	151	2547	23.0	47.0
7	侯保荣	中国科学院海洋研究所海洋环境腐蚀与生物污损重点实验室	145	1762	21.0	33.0
8	郑福卫	青岛科技大学化学与分子工程学院	2	5	2.0	2.0