多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计

• 作者: 杜昊 王向红 程岐生 赵战锋 郎文昌 高斌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多模式交变耦合磁场 离子镀弧源 轴对称发散磁场 多模式反极性动态聚焦导引磁场 动态拱形耦合磁场
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 913-918
• 分类号: TB43|TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.08.01

摘要

采用有限元模拟对多模式交变耦合磁场进行了优化设计,介绍了多波形电磁线圈控制电源的原理,并对按此原理制作的电源进行了测试,分析讨论了不同波形励磁电流条件下磁场对于弧斑运动的影响,提出了一种多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计原理及方案.研究表明:轴对称发散磁场有推动弧斑向外扩展的趋势,轴对称拱形磁场将弧斑约束在固定的轨道,反极性聚焦导引磁场有约束弧斑在靶材中心的趋势,多模式反极性动态聚焦导引磁场与轴对称发散磁场或者拱形磁场叠加,可形成动态的拱形耦合磁场,动态的控制弧斑运动,改善弧斑放电状态,减少颗粒发射;在聚焦磁场引导下,等离子体稳定的传输,同时可以增强等离子体的粒子碰撞机率,提高离化率和离子密度.反极性动态聚焦导引磁场线圈由多波形电磁线圈控制电源驱动,可输出频率、幅值单独可调的直流及直流偏置的三角波、矩形波、馒头波、正弦波及其他形式的交变电流,实现对弧斑的多种模式控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜昊	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	24	169	8.0	11.0
2	王向红	温州职业技术学院材料成型工艺与模具技术重点实验室	25	71	5.0	7.0
3	高斌	温州职业技术学院材料成型工艺与模具技术重点实验室	17	53	5.0	6.0
4	赵战锋	温州职业技术学院材料成型工艺与模具技术重点实验室	14	37	4.0	6.0
5	郎文昌	温州职业技术学院材料成型工艺与模具技术重点实验室	8	33	4.0	5.0
6	程岐生		1	1	1.0	1.0