非均匀热场条件下多晶硅定向凝固研究

• 作者: 朱徐立 洪永强
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶硅 定向凝固 对流
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 页码范围: 2260-2265
• 页数: 6页
• 分类号: O78
• 字数: 2330字
• 语种: 中文

摘要

设计一种辐射加热装置环状布置的多晶硅定向凝固设备,通过构建非均匀热场,使硅熔体侧壁区域温度高于中央区域,在熔体密度差的作用力下,液相自然对流强度加剧,使固液界面富集的杂质加速汇聚至熔体表面,提高杂质提纯效率,并在满足工艺要求的同时达到节能目的.进行数学建模和数值模拟研究来阐述该热场的设计原理,并通过试验验证.试验表明,环状加热方式使晶粒生长方向略微外倾,相对于传统加热方式,其能耗更低、并提高了除P、Al效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪永强	厦门大学机电系	41	192	6.0	12.0
2	朱徐立	厦门大学机电系	3	9	1.0	3.0