用于柱面镜面形检测的CGH的设计与误差分析

• 作者: 王占山 马顺翔
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 二元线性光栅 计算全息图(CGH) 标量衍射 ZYGO干涉仪
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 419-425
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3751字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2015.05.009

摘要

现代X射线掠入射成像式望远镜是由大量的圆柱面超薄玻璃镜面经压制成圆锥面组成的准Wolter-I型望远镜.为了完成超薄玻璃圆柱面的检测,设计了适用于干涉检测的计算全息图(CGH).结合CGH的设计制作过程,分析了CGH的基底面形误差、刻蚀占空比误差、刻蚀位置误差、刻蚀深度等误差,并对占空比、刻蚀深度的参数做了具体的分析,通过对制作误差的分析选择了制作参数.采用设计制作的CGH和ZYGO干涉仪实现了X射线望远镜用柱面镜的检测,检测结果达到了柱面镜的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	92	640	14.0	19.0
2	马顺翔	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	1	4	1.0	1.0