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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
作者:
刘兆武
姜珊
宋莹
巴音贺希格
李文昊
潘明忠
王敬开
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
在线检测
摘要:
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法.利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法.利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构,得到两组工作台测量镜面形的原始数据,通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差,得到了精确的测量镜面形误差量.对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证,并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比,结果显示其差异在士10 nm之间,且趋势有较好的一致性.得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差.
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相关文献总数
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文献信息
篇名
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
在线检测
年,卷(期)
2016,(9)
所属期刊栏目
现代应用光学
研究方向
页码范围
2134-2141
页数
8页
分类号
TN247|TH744.3
字数
3336字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20162409.2134
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
潘明忠
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
26
176
8.0
12.0
2
李文昊
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
35
144
7.0
11.0
3
姜珊
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
20
132
6.0
11.0
4
宋莹
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
20
176
5.0
13.0
5
刘兆武
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
4
37
2.0
4.0
9
王敬开
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5
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节点文献
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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