基于金属电极和有机半导体层的制备工艺对有机薄膜晶体管性能的研究

• 作者: 方汉铿 朱大龙 欧阳世宏 许鑫 谢应涛
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 剥离 湿刻法 半导体层图形化 接触电阻 有机薄膜晶体管
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 88-91
• 分类号: TN929.11
• 语种: 中文

摘要

基于聚合物绝缘材料和半导体材料,采用溶液法旋涂工艺制作了有机薄膜晶体管(OTFT),通过不同方法制备有机半导体层、栅极和漏极,以提高有机薄膜晶体管的器件性能.结果表明,有机半导体层是否图形化以及不同金属电极的制备工艺对器件的接触电阻影响明显.有机半导体层图形化后,器件的开关比有较大的提升.采用lift-off工艺,先在聚合物绝缘层材料上对光刻胶图形化,然后利用真空蒸镀法将金属电极蒸镀到绝缘层材料上,最后将器件浸泡在70℃的NMP溶液中约30 min,接触电阻约为4.8×107 Ω;采用湿刻工艺对蒸镀在绝缘层材料上的金属电极进行处理,接触电阻有明显的下降,约为3.6×106 Ω.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许鑫	上海交通大学电子信息与电气工程学院	23	273	9.0	16.0
2	朱大龙	上海交通大学电子信息与电气工程学院	2	3	1.0	1.0
3	谢应涛	上海交通大学电子信息与电气工程学院	2	2	1.0	1.0
4	欧阳世宏	上海交通大学电子信息与电气工程学院	2	2	1.0	1.0
5	方汉铿	上海交通大学电子信息与电气工程学院	2	2	1.0	1.0