线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备

• 作者: 吴爱民 张文兰 李慧 秦福文 董闯 陆文琪
• 来源期刊: 哈尔滨工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 线形同轴耦合微波等离子体 等离子体诊断 电子密度 多晶硅薄膜 拉曼 XRD
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 423-426
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7043.201311019

摘要

开发了一种新型线形同轴耦合大面积微波等离子体源，针对该新型等离子体源放电空间等离子密度及分布的不明确性，利用朗缪尔单探针法研究了不同放电参数下该等离子体源等离子体密度及空间分布情况。以微波功率，氢氩总流量（氢氩流量比为3∶1）和距石英管的距离Z为3个因素设计正交实验探究了宏观放电参量对等离子体参数的影响。测试结果表明该型等离子体源的电子密度均在1010 cm－3以上。其次，诊断了在距石英管Z为14 cm处，等离子体参数沿空间水平的分布情况，探究薄膜的最佳沉积区域。最后，根据等离子诊断情况进行硅薄膜的沉积，由XRD结果表明薄膜为多晶结构，拉曼光谱显示沉积硅薄膜晶化率均在92％以上，沉积速率在8 nm／min。