线形同轴耦合式微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜

• 作者: 吕反修 唐伟忠 杨志威 耿春雷 苗晋琦 赵中琴 陈立民
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 线形同轴耦合 微波等离子体 CVD 金刚石薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 432-435
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1913字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.037

摘要

线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置是一种利用微波天线产生轴向分布的等离子体柱的新型微波等离子体CVD装置.由于它产生的等离子体是沿微波天线分布的,因而可避免石英管式、石英钟罩式以及不锈钢谐振腔式微波等离子体CVD装置中等离子体的分布容易受到金属工件位置干扰的缺点.本文将首先讨论线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置的工作原理,其后介绍利用此装置进行的金刚石薄膜沉积实验的初步结果.实验结果表明,利用线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置,可在金属衬底上沉积出质量较好的金刚石薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	苗晋琦	北京科技大学材料科学与工程学院	10	77	6.0	8.0
4	耿春雷	北京科技大学材料科学与工程学院	5	55	4.0	5.0
5	赵中琴	北京科技大学材料科学与工程学院	4	42	4.0	4.0
6	杨志威	北京科技大学材料科学与工程学院	3	32	3.0	3.0
7	陈立民	北京科技大学材料科学与工程学院	1	17	1.0	1.0