线形同轴耦合式微波等离子体CVD法硬质合金微型钻头金刚石涂层沉积

• 作者: 吕反修 唐伟忠 樊凤玲 耿春雷 黑立富
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石涂层 微钻 线形微波等离子体CVD设备
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 794-798
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.007

摘要

本文介绍了利用线形同轴耦合式微波等离子体CVD法在硬质合金微型钻头(微钻)上沉积金刚石涂层的初步实验结果.微型钻头的直径为0.5mm,其中WC晶粒的尺寸约为0.5μm.在沉积前,先用Murakami溶液(10gKOH+10gK3[Fe(CN)6]+100ml H2O)对微钻刻蚀10min,使其表面粗化,然后用硫酸-双氧水溶液(10ml98wt%H2SO4+100ml 38%m/vH2O2)对其浸蚀60s,以去除其表面的Co.在金刚石涂层过程中发现,由于微钻尖端在微波电磁场中产生较集中的辉光放电现象,因而在微钻尖端很难获得金刚石涂层.针对这种金刚石涂层过程中的"尖端效应",尝试使用了金属丝屏蔽的方法以改变微钻周围的微波电磁场分布,克服了上述金刚石涂层过程中的"尖端效应",首次成功地采用微波等离子体CVD法在微钻上沉积了厚度为1.5μm的金刚石涂层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	黑立富	北京科技大学材料科学与工程学院	39	153	6.0	10.0
4	耿春雷	北京科技大学材料科学与工程学院	5	55	4.0	5.0
5	樊凤玲	北京科技大学材料科学与工程学院	2	10	2.0	2.0