单晶硅反射镜激光能量吸收系数与衬底表面质量的关联

• 作者: 万稳 彭小强 戴一帆 朱志武 田野 石峰 韩凯
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 激光能量吸收系数 衬底表面质量
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 专题:精密工程
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN95
• 字数: 2887字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11887/j.cn.201506006

摘要

高能激光系统中，单晶硅基底反射镜的能量吸收系数是影响系统性能的关键指标。衬底加工质量对镀膜后元件激光能量吸收系数影响显著。通过测试不同衬底粗糙度、划痕密度的单晶硅反射元件，分析衬底表面典型加工特征（粗糙度、划痕）对激光能量吸收系数的影响规律，认为粗糙度与吸收系数正相关，粗糙度均方根从0.668nm降低至0.345nm会使吸收系数降低28.0％。少量划痕对吸收系数的直接影响并不明显，吸收系数均值变化在3.1％以内。但表面划痕会诱发激光损伤，划痕密度较大时会引起后续能量吸收持续增大，辐照400 s后，吸收系数较辐照100 s时增大18.3％。