凸非球面背向零位补偿检验的设计方法

• 作者: 叶璐 张金平 郑列华 郝沛明
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 几何光学 辅助面补偿 零位补偿 凸非球面检测
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 148-153
• 分类号: TN247|O435.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20154404.0422002

摘要

为了实现大口径凸非球面的高准确度检测,提出了凸非球面背向零位补偿检验方法.该方法在非球面背面引入辅助球面并在光路中加入球面补偿透镜来达到零位补偿检验.辅助球面既可以使凸非球面等效为凹非球面,还可以补偿部分非球面法线像差.依据三级像差理论,对辅助球面曲率半径及补偿透镜结构参量进行初始结构求解,并编写了求解初始结构软件,再利用光学设计软件对初始结构进行优化,优化结果满足设计要求,使凸非球面背向零位补偿检验理论化.在实际应用中,以Φ120 mm凸非球面为例设计了凸非球面背向零位补偿检测系统,检测系统设计的剩余波像差PV为0.024λ、RMS为0.007λ.利用此检测方法加工完成后的凸非球面的面形准确度优于λ/40.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝沛明		26	195	9.0	13.0
2	郑列华	中国科学院上海技术物理研究所	20	59	4.0	6.0
3	张金平	中国科学院上海技术物理研究所	36	302	11.0	16.0
4	叶璐	中国科学院上海技术物理研究所	8	23	3.0	4.0