氧化镓纳米棒的超声法制备及湿敏特性研究

• 作者: 娄彦龙 王丁 王朋朋 郑学军
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: Ga2O3纳米棒 湿度传感器 离子掺杂 GaN粉末 超声合成 湿敏特性
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TB943
• 字数: 4409字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2015.12.004

摘要

以商业氮化镓(GaN)粉末为原料，经简单超声辅助的方法成功制备出氧化镓(Ga2O3)纳米棒。通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)和透射电子显微镜(TEM)等对其结构、形貌及成分进行表征分析。结果表明：材料为纳米棒状多孔结构，直径和长度范围分别在100 nm和2μm左右，并且Na+和K+被成功地掺杂。湿敏材料旋涂在预先涂覆有Ag-Pd叉指电极的Al2O3陶瓷基片上制作成湿敏测试元件。对其湿敏性能进行测试，结果表明：Ga2O3纳米棒传感器的阻抗随着湿度的变化曲线表现出良好的线性响应和稳定性，在100 Hz频率下，当环境中的相对湿度(RH)从11%到95%变化时，该湿度传感器阻抗变化超过四个数量级，响应和恢复时间分别为1 s和6 s，其最大湿滞为3%RH。优异的湿敏特性可能源于一维Ga 2 O 3纳米结构和离子掺杂的协同效应。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑学军	上海理工大学材料科学与工程学院	11	24	1.0	4.0
2	王丁	上海理工大学材料科学与工程学院	12	28	3.0	5.0
3	王朋朋	上海理工大学材料科学与工程学院	3	14	1.0	3.0
4	娄彦龙	上海理工大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0