光刻机掩模台微动台建模及控制系统仿真

• 作者: 张之万 强盛 徐加彦
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机掩模台 三环PID控制 传递函数建模
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 模式识别与仿真
• 页码范围: 76-80
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 2298字
• 语种: 中文

摘要

光刻机在集成电路的大规模生产中占有重要地位.掩模台的高速度高精度控制直接决定了芯片制造的线宽及生产效率.本文介绍了运动控制中常用的三环PID控制方法.此方法易于调试,控制精度高.分析了磁悬浮平台结构的摩擦阻力特性.通过实验测试及系统辨识得到控制系统传递函数模型后,进行仿真分析,确定了控制器参数.在控制系统中加入扰动信号进行仿真,证明系统在扰动存在下,控制可以达到预期纳米级精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐加彦	哈尔滨工业大学航天学院	9	34	3.0	5.0
2	张之万	哈尔滨工业大学航天学院	5	27	2.0	5.0
3	强盛	哈尔滨工业大学航天学院	15	99	4.0	9.0