基于扫描探针显微术研究Pb(Zr,Ti)O3铁电薄膜的电学性质

• 作者: 卢焕明 李勇 魏安祥 魏艳萍
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 Pb(Zr,Ti)O3铁电薄膜 铁电畴 导电性
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 560-563,577
• 页数: 5页
• 分类号: TB321
• 字数: 1555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11973/lhjy-wl201508008

摘要

首先利用脉冲激光沉积技术在(001)取向的SrTiO3基片上外延生长了SrRuO3底电极和PbZr0.20Ti0.80O3 (PZT)薄膜,然后利用扫描探针显微镜的压电响应模式(PFM)和导电测试模式(C-AFM)表征了PbZr0.20Ti0.80O3/SrRuO3/ SrTiO3异质结薄膜纳米尺度的电学性质.以镀铂探针为上电极,利用压电响应模式获得了复合薄膜纳米尺度的压电位移-电压蝶形曲线和压电相位-电压滞后曲线,表明样品具有良好的铁电性.薄膜纳米尺度下的Ⅰ-Ⅴ测试结果表明经+10 V电压极化后的样品,其I-Ⅴ曲线在矫顽场附近出现峰值,与宏观Ⅰ-Ⅴ测试结果类似.导电原子力和压电力测试结果证明C-AFM可以检测到PZT薄膜样品的瞬时极化反转电流并进行成像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李勇	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	225	3185	28.0	48.0
2	卢焕明	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	12	19	3.0	3.0
3	魏艳萍	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	6	12	2.0	3.0
4	魏安祥	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	1	1	1.0	1.0