以BCl3-CH4-H2为前驱体、化学气相沉积制备BxC凝聚相产物的热力学研究

• 作者: 孙国栋 张青 李辉 邓娟利
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 关键词: 热力学 化学气相沉积 凝聚相
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 826-829
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

采用完整热力学平衡分析验证了自愈合相段C的产物是温度和初始气体摩尔比的函数.结果表明,凝聚相的成分与温度和气体的摩尔比(如BCl3∶(BCl3+CH4)、H2∶(BCl3+CH4))密切相关.BxC的理想沉积条件是:BCl3∶(BCl3+CH4)之比为0.8,H2∶(BCl3+CH4)之比在10～105.2之间,而温度应高于950 K.材料的富碳或者富硼主要通过调整BCl3∶(BCl3+CH4)和H2∶(BC13+CH4)的气体摩尔比来控制.