微流道制作工艺及其相关设备研究

• 作者: 赵文凤
• 来源期刊: 军民两用技术与产品
• 关键词: 生物芯片 微流体芯片 微流道 光刻技术 塑料微成型技术 直写技术
• 年，卷（期）: 2015,（22）
• 所属期刊栏目: 新材料与新工艺
• 页码范围: 115-115,147
• 页数: 2页
• 字数: 1986字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了生物芯片中微流体芯片的构成和应用。重点介绍了微流道早期光刻制作方法，以及近期的塑料微成型技术和直写技术。塑料微成型技术中主要介绍了热压成型、微注塑成型和浇铸成型等技术。直写技术主要介绍了微铣加工技术、激光加工技术和喷粉加工技术。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵文凤		1	0	0.0	0.0