基于自感知反馈的压电微夹钳 PID控制

• 作者: 孙庆龙 崔玉国 蔡成波 薛飞 郑军辉
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电微夹钳 自感知反馈 PID控制
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 微 机 电 系 统
• 页码范围: 118-123
• 页数: 6页
• 分类号: TH39
• 字数: 3511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13494/j.npe.20150110

摘要

为了避免应用外部传感器，采用自感知方式实现压电微夹钳的闭环控制．压电微夹钳钳指在电压与外力作用下输出位移并在其表面产生电荷，据此提出了基于电流积分的钳指位移自感知方法；将PID控制器中的矩形积分改为抛物线积分，对偏差的微分改为对输出的微分，设计出了压电微夹钳的改进PID控制器，并将其同自感知反馈方式相结合，设计出了压电微夹钳的自感知反馈控制系统．实验结果表明：在自感知反馈控制作用下，压电微夹钳对5μm阶跃参考位移的响应时间为0.34 s，若不考虑噪声影响，稳态误差几乎为零；在最大位移为14.1μm的任意波形参考位移的作用下，压电微夹钳的自感知反馈控制亦可取得良好的控制效果，其稳态误差中线在－0.06～0.05μm之间变化．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡成波	宁波大学机械工程与力学学院	5	23	3.0	4.0
2	崔玉国	宁波大学机械工程与力学学院	42	184	8.0	11.0
3	孙庆龙		2	2	1.0	1.0
4	薛飞	宁波大学机械工程与力学学院	6	21	3.0	4.0
5	郑军辉	宁波大学机械工程与力学学院	7	26	3.0	4.0