我国集成电路制造最新态势及未来展望

• 作者: 周兰
• 来源期刊: 现代电信科技
• 学科: 经济
• 关键词: 摩尔定律 制造工艺 集成电路
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 专业研究
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: F426.63
• 字数: 4140字
• 语种: 中文

摘要

放眼全球,集成电路制造工艺的升级速度却依然未减,新材料、新器件、新工艺的产业化进程尚未真正来临."十三五"期间,在坚持以FinFET为代表的先进工艺技术升级的同时,还需积极拓展新兴应用市场,以实现我国集成电路产业的做大做强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兰		2	4	1.0	2.0