基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计

• 作者: 叶雨欣 孔延梅 潘滔 焦斌斌 王振宇
• 来源期刊: 江汉大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 热电堆器件 红外辐射激励 MEMS红外光源 快门 黑体发射率
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 物理与电子技术
• 页码范围: 246-252
• 页数: 7页
• 分类号: TP273
• 字数: 3917字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16389/j.cnki.cn42-1737/n.2016.03.010

摘要

在微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)热电堆器件的测试中,如何给热电堆器件施加合理的周期性红外辐射激励是能否得到正确器件参数的关键.在开发适用于MEMS热电堆器件的晶圆级测试系统的过程中,提出了一种光学能量传输方案,该方案采用MEMS红外光源JSIR450替代了传统黑体炉作为红外辐射激励源,采用快门替代了光学斩波器对红外信号进行周期性调制.通过实验证明了该方案的有效性,且通过积分的方法证明了MEMS红外光源能量发射端的黑体发射率满足项目要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王振宇	北京大学软件与微电子学院	188	970	18.0	23.0
2	焦斌斌	中国科学院微电子研究所	13	21	3.0	3.0
3	潘滔	北京大学软件与微电子学院	53	278	10.0	14.0
4	孔延梅	中国科学院微电子研究所	5	25	2.0	5.0
5	叶雨欣	中国科学院微电子研究所	5	5	2.0	2.0