有机薄膜晶体管气体传感器的研究进展

• 作者: 吴寸雪 太惠玲 杜晓松 苏元捷 蒋亚东 谢光忠
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 复合薄膜 气体传感器 分层薄膜 有机薄膜晶体管 P3HT薄膜
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 664-673
• 页数: 10页
• 分类号: TP212
• 字数: 3177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2016.04.019

摘要

重点介绍了电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室在国家自然科学基金资助下开展的有机薄膜晶体管(OTFT)气体传感器方面的研究进展。制备了酞菁铜(CuPc)薄膜为有源层的底栅底接触式结构的有机薄膜晶体管，对器件的制备工艺和结构参数进行了优化，研究了其对H2S气体的敏感特性。同时制备了P3HT-ZnO纳米棒的复合薄膜、P3HT单层薄膜、P3HT-MoS2分层膜和复合膜的有机薄膜晶体管气体传感器，系统地分析了OTFT器件的电学性能和气敏特性。