碳化硅多线切割技术研究

• 作者: 丁鹏刚 付纯鹤 周庆亚 陈学森
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 多线切割 摆动
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 材料制造工艺与设备
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TP305
• 字数: 2169字
• 语种: 中文

摘要

在对碳化硅物理特性分析的基础上,对其多线切割的工艺技术进行了研究,总结出了在碳化硅多线切割设备的几个需要注意的技术要点;并在所研制的设备上进行了工艺切割试验,获得了较好的切割效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周庆亚	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	15	2.0	3.0
2	付纯鹤	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	8	2.0	2.0
3	陈学森	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	12	2.0	3.0
4	丁鹏刚	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	3	1.0	1.0