一种电极型MEMS电场传感器封装结构

• 作者: 任天令 夏善红 闻小龙
• 来源期刊: 电子与信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电场传感器 微机械电子系统 封装 环境适应性 大气电场探测
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 2960-2964
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11999/JEIT160608

摘要

为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性,该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构.区别于将传感器敏感芯片及探头放置于被测环境中,该文通过在MEMS电场传感器封装管壳外部增加封装电极,仅将封装电极暴露在被测环境中,有效避免了传感器敏感芯片封装管壳受到多种恶劣环境的干扰.研制出基于新型封装结构的MEMS地面电场传感器及探空电场传感器,仿真及试验结果表明,该结构传感器能够实现对电场高精度准确测量,在高湿、低温等恶劣环境下输出稳定可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	闻小龙	清华大学微电子学研究所	3	14	2.0	3.0