一种MEMS压力传感器的工艺设计与仿真

• 作者: 曹正宗 李盛楠 王健 赵华强
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: 压力传感器 仿真 silvacoTCAD 工艺
• 年，卷（期）: 2016,（19）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 174-175
• 页数: 2页
• 字数: 614字
• 语种: 中文

摘要

MEMS压力传感器具有体积小、灵敏度等优点,发展前景广阔.本文采用工艺模拟软件结合文献设计一种MEMS压力传感器制备方法,制备出符合要求的芯片,明确了仿真设计在MEMS压力传感器工艺设计的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健		49	161	7.0	11.0
2	赵华强		2	0	0.0	0.0
3	李盛楠		2	0	0.0	0.0
4	曹正宗		2	0	0.0	0.0