解析半导体生产中扩散工艺技术应用

• 作者: 袁强
• 来源期刊: 大科技
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体生产 扩散工艺技术 半导体技术
• 年，卷（期）: 2016,（28）
• 所属期刊栏目: 研究园地
• 页码范围: 288
• 页数: 1页
• 分类号: TN305
• 字数: 2229字
• 语种: 中文

摘要

在半导体生产中,扩散工艺技术是经常用到的一种制作方法.本文就将从半导体技术的特点、扩散工艺的特点入手,介绍半导体生产中扩散工艺技术的主要应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁强		1	0	0.0	0.0