波纹膜片对结构型高温压力传感器性能影响的研究

• 作者: 姚东媛 张洪泉 谢胜秋
• 来源期刊: 传感器技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 波纹膜片 圆弧形外波纹 高温压力传感器
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 31-39
• 页数: 9页
• 分类号: TP2

摘要

分析了一体化高温压力传感器中波纹膜片的结构参数对其性能的影响,详述了通过对带有圆弧形外波纹的波纹膜片的综合设计和工艺优化处理,研制出线性度好、灵敏度高的波纹膜片,使结构型高温传感器可工作在220℃环境,经试验测试结果表明:传感器的线性小于0.2% FS,迟滞小于0.2% FS,具有线性度好、灵敏度高和迟滞小的特点。