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摘要:
很多微机电系统(MEMS)器件已经或将要应用在物联网领域,如陀螺仪,振荡器,加速度计、压力和红外传感器,依靠晶圆级封装(WLP)生产体积小,密封的芯片级封装(CSP).这些先进封装方法兼容或在一定条件下将会取代传统IC封装方法.
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文献信息
篇名 物联网的微机电系统封装
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 物联网 MEMS封装 陀螺仪 压力传感器 加速度计
年,卷(期) 2017,(1) 所属期刊栏目 先进封装技术与设备
研究方向 页码范围 35-38
页数 4页 分类号 TN948.43
字数 1247字 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
物联网
MEMS封装
陀螺仪
压力传感器
加速度计
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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10002
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