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物联网的微机电系统封装
物联网的微机电系统封装
作者:
Doug Sparks
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
物联网
MEMS封装
陀螺仪
压力传感器
加速度计
摘要:
很多微机电系统(MEMS)器件已经或将要应用在物联网领域,如陀螺仪,振荡器,加速度计、压力和红外传感器,依靠晶圆级封装(WLP)生产体积小,密封的芯片级封装(CSP).这些先进封装方法兼容或在一定条件下将会取代传统IC封装方法.
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文献信息
篇名
物联网的微机电系统封装
来源期刊
电子工业专用设备
学科
工学
关键词
物联网
MEMS封装
陀螺仪
压力传感器
加速度计
年,卷(期)
2017,(1)
所属期刊栏目
先进封装技术与设备
研究方向
页码范围
35-38
页数
4页
分类号
TN948.43
字数
1247字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
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1
Doug Sparks
2
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2017(0)
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主办单位:
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出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号:
创刊时间:
1971
语种:
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