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摘要:
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紫外压印光刻中阻蚀胶残膜刻蚀工艺
紫外压印
阻蚀胶
残膜
反应离子刻蚀
步进闪光压印光刻模具制作工艺研究
压印光刻
硅橡胶
模具
高精度压印机压印轴的热误差分析
压印光刻
热误差
温度场
有限元
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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(/年)
文献信息
篇名 镭射转移压印工艺中掉墨故障解决
来源期刊 中国印刷 学科
关键词
年,卷(期) 2017,(10) 所属期刊栏目 学苑
研究方向 页码范围 71-74
页数 4页 分类号
字数 3296字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈海生 41 49 4.0 5.0
2 李娜 1 0 0.0 0.0
3 陈锦彬 1 0 0.0 0.0
传播情况
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引文网络
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2017(0)
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相关学者/机构
期刊影响力
中国印刷
月刊
1000-663X
11-1701/TS
16开
北京市宣武区太平街6号富力摩根中心D座709室
82-929
1938
chi
出版文献量(篇)
8211
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1
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835
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